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美国布鲁克斯Brooks Instruments热质量流量控制器GF135特征和优势
GF135系列采用金属密封的热质量流量控制器性能和智能。
型号GF135
保持对目标的关键流程的流程和与GF135高级诊断压力瞬变不敏感型（PTI）质量流量控制器最大限度地提高吞吐量。世界上个“聪明”的质量流量控制器是一个真正的游戏改变：它执行率的衰减整体流量测量无需停止工艺气体的流动。它允许半导体制造商验证的过程气体的精度，通过泄漏检查阀和实时监测传感器稳定性而不从气体管线除去流量控制器。与全金属润湿流路相结合，超快速建立时间和业界先进的工艺气体的精确度，GF135 PTI MFC有能力改变的生产力和吞吐率为广泛沉积工艺的潜力。

特征
每年<±0.5％满量程长期零点稳定性
超快速建立时间：<300毫秒 - <400毫秒
满量程流速：3 SCCM至5 SLM
超高纯度流动路径 - 4μ寸镭表面光洁度
嵌入式实时流量错误检测和使用趋势率的衰减（ROD）技术
增强工艺气体的准确性 - 高达三倍的改善 - 通过先进的气体通过模拟实际气体测试优化
第三代压力瞬变不敏感（PTI）技术
能见度高，电子可旋转的LCD显示提供流量，温度，压力和网络地址的本地指示
的DeviceNet?，RS-485和模拟接口
优点
实时流错误检测可以更快地调整流量偏差和支持晶圆良率改善
传感器稳定跟踪，支持预测性维护提高系统正常运行时间
阀门泄漏通过跟踪有助于最小化的晶片效应
增强的过程气体精确度10纳米工艺符合化学气体控制方面的挑战
市场先进的流量稳定时间减少非生产性流稳定措施，支持先进的3D设备处理
加强压力不敏感提供卓越的工艺气体控制增强刻蚀和沉积控制
耐腐蚀的哈氏合金传感器提供了无与伦比的长期稳定的传感器确保最大的成品率和产量
下拉更换为表面贴装和VCR微生物燃料电池是在现有系统中的关键气体线轻松升级
应用
安森美半导体先进的蚀刻工具
美国Brooks Instruments（布鲁克斯）作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
上海连航机电科技有限公司是国内专业的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术咨询，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。主要产品有BENZLERS减速机、 ABB电容电桥测试仪、BEFELD整流器、BROOKS流量变送器、MESA氧分析仪、HBM传感器、HUBNER编码器、PFAFF线性执行器、FINDER离心泵、E2V闸流管等，欢迎来电咨询。
为紧跟工业科技发展步伐，保障全产业链一体化工业服务水平，连航分别在德国和美国设有公司和仓储中心，自此建立了对欧美先进工业品与工业技术大规模引进的高速通道。凭借的全球采购能力和工厂直采加产品集散带来的二度成本压缩，连航扩大了在业内的先进优势，终端服务效率与水平与日俱增。

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