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美国布鲁克斯Brooks Instruments流量控制器GF125系列特性

阅读次数:2632    发布时间: 2016-04-26 09:22:00

美国布鲁克斯Brooks Instruments流量控制器GF125系列特性
GF125系列采用金属密封的热质量流量控制器和仪表拥有这一切的MFC。
超快速的响应时间和纯度的很高水平 - 的GF125系列的第二代多变量,压力瞬变不敏感(PTI),金属密封质量流量控制器和仪表。带上PTI质量流量控制技术,市场,GF125最小化处理气流的变化,由于压力和温度的波动。标准MultiFlo?技术使一个MFC支持数千个气体的类型和范围的组合而不脱离气体管线移除或牺牲精度。
其结果是:小型,低成本气板,通过消除使用压力调节器,压力传感器点的需要,和相关硬件,具有业界很佳的PTI性能相结合,以最大限度地提高产量和生产效率。


特征
每年<±0.5%满量程长期零点稳定性
超快速建立时间:300毫秒 - <700毫秒
满量程流量可达300 SLPM
超高纯度流动路径 - 4μ寸镭表面光洁度
SEMI F20标准的湿材料
高速ARM处理器耐腐蚀哈氏合金T-崛起传感器
快速作用,无隔膜阀组件是由压力差的影响,并且测试了超过七百万次循环没有发生任何故障
何首乌技术提供了无与伦比的灵活性,一台设备可以设置为成千上万种不同气体和流量范围的配置,而不??从气体行移除MFC或影响精度
当地显示指示流量,温度,压力和网络地址用于气体供给和隔离阀问题的简单的故障诊断
可选的高精度配置
DeviceNetTM,RS-485 L-协议和模拟接口
优点
通过与快动膜片免费阀组件结合布鲁克斯的专利流量传感器技术,GF125系列比起来其他质量流量控制器可提供3倍的速度响应和稳定时间
对于改善的干式优化湿润流路
与MultiFloTM,MFC满刻度流量范围可以被重新按比例缩小通常由3倍:1与由规格上精度,量程或泄漏没有影响,对于很佳的工艺和库存灵活性
一个完整的数据库气体提供最广泛的工艺气体覆盖
压力瞬变不敏感(PTI)功能,克服了强烈的反应,小进气压力波动传统的微生物燃料电池的限制。其结果是稳定的性能和可预测的准确性。
GF125高精度(HA)具有卓越的低精度的设定值能够与一个替代两个(高,低流量)质量流量控制器,提供了直接的成本节省,同时释放气体线更大的气体面板的灵活性。
方便用户的显示和独立的诊断/服务口岸艾滋病设备安装,监控和故障排除
主要应用
半导体
MOCVD
需要高纯度的全金属流路的气体流量控制应用
美国Brooks Instruments(布鲁克斯)作为EMERSON(艾默生)旗下的一子公司,专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验,Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术(压力控制器、压力表、压力变送器等)。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
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