连航机电

美国布鲁克斯Brooks Instruments质量流量控制器GF125产品规格

微分
超高纯度
超快速响应时间
压力瞬变不敏感

性能
流量范围（满量程容量）
3 SCCM - 300 SLM

准确性
±1％S.P.> 35-100％
±0.35％F. S. 2-35％

重复性<±0.15％S.P.
线性度
±0.5％F.S. （包括精度）

响应时间
300毫秒 - <1秒

响应时间
常开阀：<1.5秒
（仅限于特定机型）

多气体和范围可配置MultiFlo?标准（大部分机型）
压力瞬变不敏感
<5％S.P.长达5磅/秒的上游按下。穗

控制范围
<5 - 100％

箱数
标准GF系列：11箱

高流量GF系列：4箱

阀门关闭
<2％F.S.

零点稳定性<±0.5％F.S.每年
流量温度系数
跨度：每摄氏度0.05％S.P.

零：0.005％F.S.每摄氏度
机械
密封材料
金属

纯度/表面的水平完成4 - 5μ寸镭
接液材料
SEMI F20 HP标准
316L VIM / VAR

哈氏合金C-22
316L不锈钢
304不锈钢
KM-45

阀选
常闭

常开（具体型号）
计（无阀）

评级
很高温度50℃
差压量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID
861 - 7200 SCCM = 10 - 45 PSID
7201 - 55000 SCCM = 15 - 45 PSID
51 - 300 SLM = 30 - 90 PSID

*典型压降。联系方式布鲁克斯技术支持以获取更多信息。

最大压力
标准GF系列：100 PSIA最大
高流量GF系列：75 PSIG（控制器），150 PSIG（米）

泄漏完整性1x10-10大气压毫升/秒他
诊断和显示
诊断功能可用

状态指示灯
MFC健康

网络状态
警报
控制阀输出

网络中断
诊断/服务端口
通过2.5毫米接口RS485（所有型号）

显示
顶部安装集成LCD

可视角度：固定
视距：10英尺

单位显示：流量（％），温度（℃），压力（PSIA，千帕）
分辨率：0.1（单位）

电动
模拟通信
0-5伏

数字通信
的DeviceNet?
RS485 L-协议

电气连接
模拟/ RS485通过9针“D”连接器
的DeviceNet?通过5针“M12”连接器
提供各种线缆适配器。有关更多信息，请参见产品数据表。

电源/功耗
模拟/ RS485 l协议：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）
的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流电
（在典型的操作条件下）

合规
EMC
EC指令2004/108 / EC
CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE测试）

环境合规性
RoHS指令（2011/65 / EU）
REACH指令EC 1907/2006
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