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美国Brooks Instruments布鲁克斯流量控制器GF100的特征和优点
GF100系列采用金属密封的热质量流量控制器和仪表
高纯度的流动路径。出色的性能，可靠性和可重复性。
型号GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
快速响应工艺气体的高和超高水平的，可重复的递送纯度-这就是GF100系列金属的密封质量流量控制器和仪表提供的性能。设计用于半导体，MOCVD等气体流量控制的应用中，GF100系列超过可靠性半导体工业标准，以确保可重复的，随着时间的推移表现高度稳定。标准MultiFloTM技术使一个MFC支持数千个气体的类型和范围的组合而不脱离气体管线移除或牺牲精度。
其结果是：提高过程的灵活性和效率同行业的工艺气体纯度很高水平结合起来，帮助最大限度地提高产量和生产效率。

特征
每年<±0.5％满量程长期零点稳定性
建立时间：700毫秒 - <1秒
满量程流量可达300 SLPM
全金属密封流动路径：选项4μ或10μ英寸镭表面光洁度
耐腐蚀哈氏合金T-上升传感器提高了在高温下测量的可重复性
MultiFloTM气体和范围的可编程酮装置，数千气体的类型和范围的组合而不脱离气体管线除去MFC或影响精度
本地显示
可选SDS气体输送
DeviceNetTM，RS-485 L-协议和模拟接口
优点
高性能组件马拉松测试七次半导体行业标准的可靠性
全金属，耐腐蚀流量降低的表面积和体积的未波及路径，确保在清洗步骤，更快干下来
与MultiFloTM，新工艺气体和/或范围可被设置在在60秒 - 没有更多的去除和校准微生物燃料电池
高度可配置平台使直接替换升级和大多数品牌的金属封闭微生物燃料电池，包括前迅捷，Mykrolis公司，Tylan和单位品牌
GF120安全输送系统（SDS®）是布鲁克斯的国家的很先进的低压降质量流量控制器子大气的安全传输系统的交付种植和蚀刻工艺中使用（SDS）气体
方便用户的显示和独立的诊断/服务口岸艾滋病设备安装，监控和故障排除
应用
半导体蚀刻工具
薄膜的化学气相沉积系统（CVD，MOCVD，PECVD，ALD）
物理气相沉积（PVD）系统
外延工艺系统
上海连航机电科技有限公司是国内专业的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术咨询，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。主要产品有BENZLERS减速机、 ABB电容电桥测试仪、BEFELD整流器、BROOKS流量变送器、MESA氧分析仪、HBM传感器、HUBNER编码器、PFAFF线性执行器、FINDER离心泵、E2V闸流管等，欢迎来电咨询。
为紧跟工业科技发展步伐，保障全产业链一体化工业服务水平，连航分别在德国和美国设有公司和仓储中心，自此建立了对欧美先进工业品与工业技术大规模引进的高速通道。凭借的全球采购能力和工厂直采加产品集散带来的二度成本压缩，连航扩大了在业内的先进优势，终端服务效率与水平与日俱增。
美国Brooks Instruments（布鲁克斯）作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。

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