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美国布鲁克斯Brooks Instruments热质量流量控制器GF100产品规格

微分
高纯度/超高纯度

标准GF系列

高流量GF系列
性能
流量范围（满量程容量）
标准GF系列：3 SCCM - 55 SLM
高流量GF系列：55 SLM - 300 SLM
准确性
±1％S.P.> 35-100％
±0.35％F.S. 2-35％
重复性<±0.15％S.P.
线性度
±0.5％F.S. （包括精度）
响应时间
常闭阀：700毫秒 - <1秒
SDS气体输送：<3秒
响应时间
常开阀：<1.5秒（具体型号）
多气体和范围可配置MultiFlo?标准（大部分机型）
压力瞬变不敏感 -
控制范围
标准GF系列：<3-100％
高流量GF系列：5-100％
箱数
标准GF系列：11箱
高流量GF系列：4箱
阀门关闭
标准GF系列：<2％F.S.
高流量GF系列：<2％F.S. @ 30 N2 PSIG / ATM出
零点稳定性<±0.5％F.S.每年
流量温度系数
跨度：每摄氏度0.05％S.P.
零：0.005％F.S.每摄氏度

机械
密封材料金属
纯度/表面的水平完成4 - 10μ英寸镭
接液材料
SEMI F20高压/超高压兼容
316L VIM / VAR
哈氏合金C-22
316L不锈钢
304不锈钢
KM-45
阀选
常闭
常开（仅限特定型号）
计（无阀）
评级
很高温度50℃
差压量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID
861-7200 SCCM = 10-45 PSID
7201-55000 SCCM = 15-45 PSID
51 SLM-300 SLM = 30-90 PSID

最大压力
标准GF系列：500 PSIA最大

高流量GF系列：75 PSIG（控制器），150 PSIG（米）
泄漏完整性1x10-10大气压毫升/秒他
诊断和显示
诊断功能可用

状态指示灯
MFC健康

网络状态
警报
控制阀输出

网络中断
诊断/服务端口
通过2.5毫米插孔RS-485（所有型号）

显示
顶部安装集成LCD

可视角度：固定
视距：10英尺
单位显示：流量（％），温度（℃），压力（PSIA，千帕）
分辨率：0.1（单位）

电动
模拟通信
0-5伏

数字通信
的DeviceNet?
RS485 L-协议

电气连接
模拟/ RS485通过9针“D”连接器的DeviceNet?通过5针“M12”连接器提供各种线缆适配器。有关更多信息，请参见产品数据表。

电源/功耗
模拟/ RS485 l协议：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流电
（在典型的操作条件下）

合规
EMC
EC指令2004/108 / EC
CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE测试）

环境合规性
RoHS指令（2011/65 / EU）
REACH指令EC 1907/2006
上海连航机电科技有限公司是国内专业的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术咨询，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。主要产品有BENZLERS减速机、 ABB电容电桥测试仪、BEFELD整流器、BROOKS流量变送器、MESA氧分析仪、HBM传感器、HUBNER编码器、PFAFF线性执行器、FINDER离心泵、E2V闸流管等，欢迎来电咨询。
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