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美国布鲁克斯Brooks Instruments热质量流量控制器GF80 / GF81特点应用
GF80系列采用金属密封的热质量流量控制器和仪表提出了在价值驱动的金属密封应用的性能标准。
对于许多工业和半导体工艺，性能和成本效率是至关重要的。该GF80系列金属密封质量流量控制器和仪表提供两种：使用相同的快速响应传感器和专利的第四代MultiFlo?技术作为我们最畅销的GF100系列工程，它是，在一个价值的价格点需要高性能运算的正确选择。移动到密封的MFC的金属带来MultiFloTM多气体/多范围能力的全部优点，因为有在气体没有限制，可以使用的，气体的，由于通过弹性体透氧消除增强纯度，并在还原因为金属密封件的维修将持续下去。

特点
每年<±0.5％满量程长期零点稳定性
<1秒的稳定时间
满量程流量可达300 SLPM
全金属密封流动路径 - 16μ英寸镭表面光洁度
耐腐蚀哈氏传感器可以在较低温度下为气体容易发生热分解操作
可编程MultiFloTM能力酮装置，数千气体的类型和范围的组合而不脱离气体管线除去MFC或影响精度
通过积极的温度补偿很佳的的温度系数规格
嵌入式自测程序和独立的诊断/服务端口
超薄机身采用VCR接头
DeviceNetTM，PROFIBUS®，RS-485和模拟接口
优点
快速<1秒流量稳定时间浪费消除气体和工艺可变性
没有弹性体密封，可以有透氧，需要更换随着时间的推移
MultiFloTM简化和优化改变工艺气体 - 没有更多的拆除和微生物燃料电池校准
新的气体和/或范围可以在60秒内设置在
测量精度不受温度变化
方便地访问诊断端口最大正常运行时间
紧凑的尺寸简化融入紧机位;为改造选择
多协议通信接口简化集成到现有系统
应用
高性价比改造/翻新中的半导体工艺工具遗留的MFC升级
减少六英寸/八英寸晶圆厂半导体库存MFC
MOCVD的LED和功率器件制造
太阳能/薄膜化学气相沉积（CVD）系统的
分析OEM设备
美国布鲁克斯Brooks Instruments作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
上海连航机电科技有限公司是国内专业的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术咨询，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。主要产品有BENZLERS减速机、 ABB电容电桥测试仪、BEFELD整流器、BROOKS流量变送器、MESA氧分析仪、HBM传感器、HUBNER编码器、PFAFF线性执行器、FINDER离心泵、E2V闸流管等，欢迎来电咨询。
为紧跟工业科技发展步伐，保障全产业链一体化工业服务水平，连航分别在德国和美国设有公司和仓储中心，自此建立了对欧美先进工业品与工业技术大规模引进的高速通道。凭借的全球采购能力和工厂直采加产品集散带来的二度成本压缩，连航扩大了在业内的先进优势，终端服务效率与水平与日俱增。

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