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美国布鲁克斯Brooks Instruments质量流量控制器5850EM产品规格

产品型号质量流量控制器
微分
庞大的客户群与成熟的长期表现

性能
流量范围（满量程容量）0.06 SCCM - 30000 SCCM
准确性
1％F.S.含。线性度

1.5％F.S.含。线性度> 20 SLPM

重复性
率的0.2％的

线性度
±0.5％F.S. （包括精度）

响应时间
常闭阀：<3秒

可选：600毫秒

多气体和范围可配置
-

压力瞬变不敏感 -
控制范围
2-3％ - 100％

箱数
N / A

阀门关闭
N / A

零点稳定性<±0.5％F.S.每年
机械
密封材料金属
纯度水平/表面处理
316L VAR，316L，和高合金铁素体不锈钢

接液材料
阀座：316L，Viton®氟，丁腈橡胶，或的Kalrez®特氟隆

阀选
常闭，常开

计（无阀）

评级
很高温度65℃
差压量程
5 - 50磅（天然气和范围而定）

最大压力
1500 PSI

泄漏完整性1x10-10大气压毫升/秒他
诊断和显示
诊断功能 -

状态指示灯MFC健康，网络状态
警报
控制阀输出，网络中断

诊断/服务端口
N / A

 

电动
模拟通信
4-20毫安

0-5伏

数字通信
-

电气连接
15针D型接口（DA-15P）

电源/功耗
常闭阀：3.25瓦特

常开阀：10.5瓦特

合规
EMC
每61326（89/336 / EEC）

环境合规性
N / A
0.06 SCCM - 30000 SCCM

10 - 100 SLPM氮
表面光洁度
5镭内部完成（可选）

电解湿润表面（可选）

电解湿润表面（可选）

增强的过程（5镭平均）的内表面（可选）

高纯度VAR 316L不锈钢

准确性
1％F.S.包括线性度

1.5％F.S.包括线性度（> 20 SLPM）

1％F.S.包括线性度

重复性
0.25％利率

0.2％的速率

响应时间
常闭阀

<3秒

常闭阀

<3秒

多气体和范围可配置
N / A

N / A

压力瞬变不敏感
每psi氮0.008％

每psi到150 psig的0.03％

诊断能力
MFC健康，网络状态

MFC健康，网络状态

模拟通信
4-20毫安

0-5伏

4-20毫安

0-5伏

数字通信
N / A

 

现场总线

RS485 S-协议

RS485 L-协议

的DeviceNet?
上海连航机电科技有限公司是国内专业的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术咨询，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。主要产品有BENZLERS减速机、 ABB电容电桥测试仪、BEFELD整流器、BROOKS流量变送器、MESA氧分析仪、HBM传感器、HUBNER编码器、PFAFF线性执行器、FINDER离心泵、E2V闸流管等，欢迎来电咨询。
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