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VAT阀门615系列61536-PHGG-0001/0004

  • 品牌:VAT
  • 型号:61536-PHGG-0001/0004
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产品介绍

压力控制

该控制器可确保快速,准确的压力控制。操作LEARN功能只需启动一次,系统参数是自动确定的。由于自适应算法的控制器连续适应于加工过程条件(气体、气体流量),从而确保在任何时候都有压力控制。

位置控制

在位置控制模式下,阀板可以移动到任何位置。

显示

状态和位置是4位的数字显示。

遥控操作

所述阀可以由主机计算机通过RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以太网、现场总线、CC链路或EtherCAT的接口进行控制。 RS232接口与现场总线也有数字输入以关闭和打开所述阀。此外,数字输出可用于开放和关闭(阀的状态)。控制通过逻辑控制接口,通过数字以及模拟输入和输出进行。

应用

半导体,FPD和工业过程,特别是化学气相沉积系统。

规格参数

内径(ID):63mm(2 1/2")

法兰:ISO-F(符合ISO1609)

阀体材质:铝合金硬质氧化

执行器:RS232接口/1个传感器

压力:最大1.2bar(绝对压力)

密封技术:回转馈通(双密封)

密封材料FKM(VITON)

分子流导:LS-1 220

关闭或打开时间:0.6s

阀体温度:最高120℃

执行器温度:最高50℃

重量:3.8kg

产品应用


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