连航机电

UC9 系列采用 Wasco 专有的制造方法和 Elgiloy 隔膜。它具有高纯度和高耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的选择，精度高，公差小。我们设计的这些开关适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境。UC9 系列的额定 95B2 应用周期超过 2,000,000 次。UC9 系列可提供符合或超过 SEMI F20 UHP 要求的材料选择。根据 SEMI F1，所有开关的氦气泄漏测试均达到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境

额定 95B2 应用周期超过 2,000,000 次

通过了 SEMI F1 ≤ 1 x10^-9 std cc/sec 的氦气泄漏测试

UC9-A：激活点范围：压力_abs 20 至 200 Torr

UC9-G：激活点范围：0.5 至 3.5 PSIG 压力表压力

典型 UC9，带 1/4" 外螺纹端面密封和 M8 3 针（可提供其他配置）

可提供更高的额定温度

可提供其他材料

可提供其他激活范围

可提供更高压力

产地：美国

激活点范围：20 至 200 Torr（压力_abs)

复位带：10 Torr + 启动点的 6 %（典型值）

激活点公差：+/- 5 Torr +2 %激活点（典型值）

耐压：100 PSIG

爆破压力：1000 PSIG Min

工艺接口：316L SS

符合标准：SEMI F20 UHP

隔膜：埃尔吉洛伊（Elgiloy）

内表面光洁度：5 Ra

工作温度：-20 至 60 ℃(-4至 140 °F)

非工作温度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）

预期寿命：≥ 1,000,000 次 95B2（视应用而定）

防护等级：IP 67（Abs配置）

泄漏率：氦气泄漏测试 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

Max额定电流：1 A

交流/直流电压：115/ 28 V

触点材料：金

气箱、IGS 配气盘、配气系统、阀组箱体、蚀刻和沉积系统