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产品介绍
Wasco的Barracuda系列高纯度(UHP)传感器专为在苛刻的市场应用中需要检测腐蚀性介质的应用而设计。这些传感器非常适合检测气体或液体介质，而不会对过程介质造成污染。该系列非常适合要求在高精度、严格公差应用中检测腐蚀性介质的系统。
性能特点
我们为下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境设计了这些传感器。梭鱼系列的额定应用周期超过10，000，000。梭鱼拥有满足或超过SEMI F20 (UHP)的材料，临界点蚀温度性能> 35℃。所有传感器都经过氦泄漏测试，达到每SEMI F1≤1 x 10-9标准立方厘米/秒氦。
技术参数
产品尺寸
产品应用
煤气箱
IGS气体面板
气体分配系统
阀门歧管箱
蚀刻和沉积系统
沪公网安备31011302006898号
