产品介绍
采用 L-Motion 技术的 053 Transfer Insert 特别适用于蚀刻或 CVD 等腐蚀工艺。L-Motion 技术通过单轴气动执行器提供闸门的 L-motion。在这种 L 运动中，闸板垂直移动到关闭位置，与阀体没有任何接触，在最后的运动中，它被水平推到闸阀座上，密封件同时以完全相同的压力接触闸板座。这不仅避免了任何摩擦和潜在的颗粒产生，还大限度地减少了密封磨损。
为了进一步减少颗粒的产生和活化，闸门配有硫化密封件。这是一种比标准 O 型圈密封更可靠、更耐用的密封解决方案，尽管标准 O 型圈密封作为选项提供。轴馈通采用高度耐用的金属焊接波纹管密封。
为了确保闸门的整个长度具有相同的密封水平，闸门配备了一个特殊的压杆。该条保证了浇口每个区域的密封压力均匀分布。
在断电的情况下，05.3可以气动锁定在关闭位置。
带 L-Motion 的 05.3 转换插件专为延长免维护操作而设计（≤ 3 百万次循环，直到第一次服务）。
053 系列已安装在各种半导体生产工艺中的数百个要求苛刻的应用中，证明了其可靠性。053 系列具有坚固的设计以及减少和易于维护的特点，在各个方面都令人信服。
性能特点
- 在腐蚀性过程条件下可靠运行
- L-Motion 技术可避免粒子产生和激活
- 用于均匀浇口压力分布的压杆
- 波纹管密封轴馈通
- 延长免维护周期
- 平稳、低冲击运动
- 正常运行时间长/性能不受限制
- 快速操作
- 运营成本低
技术参数
沪公网安备31011302006898号
