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VAT泄漏阀59024-GEGG

  • 品牌:VAT
  • 型号:59024-GEGG

产品介绍

59.0 UHV 全金属可变泄漏阀允许准确控制非常小的气体流量(1·10-10 mbar ls)。 凭借其全金属设计,它非常适合 UHV 和UHV 工艺中的气体计量要求。

59.0 的特殊控制功能保证了可重复的准确气体流量设置,增强了过程控制能力。它还在整个生命周期内提供可靠、无泄漏的关闭,没有任何密封疲劳的风险。

全金属设计——不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸门密封——使 59.0 还具有对腐蚀性和腐蚀性气体的高耐受性。

59.0 已经安装在各种工艺条件下的数千种苛刻应用中,证明了其可靠性。它已成为 UHV 和 XHV 应用中可变泄漏阀的标准解决方案。

 

性能特点

  • 用于气流的高精度气体计量
  • 准确重现的气体流量设置
  • 可靠的终生防漏密封
  • 耐腐蚀性和腐蚀性气体
  • 气体流量下的压力控制
  • 增强的过程可控性
  • 正常运行时间长

技术参数

规格参数

产品应用


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