ENTEGRIS比例控制阀NT6300
- 品牌：ENTEGRIS
- 型号：NT6300
- 下载：datasheet-ntproportionalcontrolvalvesmodel6300cvupto28.pdf
产品介绍
NT 6300 型比例控制阀专为高的纯度应用而开发。 该阀与高腐蚀性工艺兼容，专为 CMP 浆料应用而设计，是解决当今流量控制需求的理想选择。 该阀门采用 PFA 和 PTFE 用于接液部件，惰性材料用于非接液部件，可耐受恶劣的化学环境和外部喷射。 采用新的电机驱动技术，内部电子控制阀门步进电机的各个方面。 阀门使用 Entegris 的算法设计驱动，以保持所需的设定值。
性能特点
用于高的纯度应用和耐腐蚀的 PTFE 润湿表面
用于密封和污染保护的双隔膜结构
使用我们先进的算法设计来驱动阀门以保持所需的设定值
优化阀座和隔膜设计，大限度地减少死体积和流体剪切；从全关到全开的可靠控制
占地面积小，可在有限空间内轻松进行现场安装
技术参数
沪公网安备31011302006898号
