产品介绍
可烘烤泄漏阀用于控制气体从外部源流入真空系统。软金属垫被压在较硬的金属座上，为准确的气流控制创造必要的密封。
性能特点
- 不锈钢、蓝宝石和铜合金结构，使用寿命长
- 入口压力 34 bar
- 工作压力从 1 bar 到 10 Torr
- 非常准确的控制机构
- 可在打开或关闭位置烘烤至 450°C
- 用户可维修
技术参数
产品尺寸
产品应用
典型应用包括氩气处理、溅射、系统吹扫、气体控制和激光回填
可烘烤泄漏阀用于控制气体从外部源流入真空系统。软金属垫被压在较硬的金属座上，为准确的气流控制创造必要的密封。
典型应用包括氩气处理、溅射、系统吹扫、气体控制和激光回填
沪公网安备31011302006898号
