美国Brooks Instruments（布鲁克斯）数字式质量流量控制器GF135实时流错误检测

美国Brooks Instruments（布鲁克斯）数字式质量流量控制器GF135实时流错误检测
在流量传感器导致更高的工艺污染堆积比表示实际流量。在这个过程中堆积的污垢限流器的结果比显示实际流量低。流程污染上的阀孔或座导致泄漏过去阀。所有这些情况可能导致丢失的晶圆成本数千人。当使用一个标准的MFC，这些错误不能无需停止生产运行流程检查检测。该GF135拥有正在申请专利的实时流量错误检测和用率衰减的（ROD）技术，是免疫的趋势典型的MFC破坏/退化模式，确保准确，可靠的诊断能力。经过基线建立在工具启动，该GF135可以检测流量的变化，漂移和泄漏率。
安装GF135后，一个调试例程创建一在实际工艺条件下的性能基准。在晶圆处理过程中，设备会自动流量误差检测在每一个新的过程设置点的读数，并将结果进行比较基线。专有杆测量技术暂时停止从工具上游输送气体的供给，同时保持在流进处理室所需流量。高精度压力测量而气体被从入口容积和一个贫采取先进的信号处理算法计算ROD流速即时的。之前流至处理受减少压力，上游供应重新建立与没有扰动的交付流程。通过计算在流量在晶片处理期间各种设定点时，MFC检测到任何传感器或旁路堵塞。它还检测如果传感器偏移由于堵塞和漂移明显的影响发展本身不同在不同的设定点。同样的方法是使用时，MFC给出一个零设定值计算阀门泄漏。这使得MFC测量零点。本MFC可举报阀门泄漏，传感器偏移和流过一个偏移量工具记录接口协议，以及自动更正本身如果用户开启该功能。很后，在MFC将该数据存储为一年可以使用历史数据的变化情况。通过提供流量变化自动监控，GF135能够与晶片的实时警告臂用户影响流动偏差。

超快响应
通过结合布鲁克斯的专利流量传感器技术与高速ARM处理器，快速的动膜片免费阀门装配时，GF系列提供高达3倍的速度响应和稳定时间相比其他质量流量控制器，
实现：
?通过减少非生产性的流动改进晶片的产量解决步骤
?严重腐蚀和3D需要超快分装置流程500毫秒蚀刻步骤
?减少分流天然气消费量和相关的减排成本
?在原子层沉积时间敏感气体输送步骤（ALD）
?进程需要一个缓慢的斜坡气体导通或时间流量与用户之间的关键过渡可编程的斜坡函数
美国Brooks Instruments（布鲁克斯）作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
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