美国布鲁克斯Brooks Instruments质量流量控制器性能参数

美国布鲁克斯Brooks Instruments质量流量控制器性能参数
流量范围（满量程容量）
3 SCCM - 5 SLM（N2当量）

压力瞬变不敏感
<1％S.P.长达5磅/秒的上游按下。穗

准确性
±1％S.P. 10-100％F.S.

±1％S.P.加上±0.04％F.S. 2-10％F.S.‘

重复性<±0.15％S.P.
线性度
包括在精度

响应时间
<300毫秒（<860 SCCM N2当量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2当量）

（到±2％以内，FS）

<300毫秒（<860 SCCM N2当量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2当量）

（到±2％以内，FS）

<300毫秒（<860 SCCM N2当量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2当量）

（到±2％以内，FS）

多气体和范围可配置
-

控制范围
1 - 100％

阀门关闭
<F.S. 0.5％ N2

零点稳定性<±0.5％F.S.每年
流量温度系数
跨度：0.05％S.P./°C

零：0.005％F.S./°C

机械
密封材料
金属

纯度/表面处理4μ英寸镭水平
接液材料
SEMI F20 HP标准

316L VIM / VAR

哈氏合金C-22

316L不锈钢

304不锈钢

KM-45

阀选
常闭

评级
很高温度
50℃

差压量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID

861 - 5000 SCCM = 10-45 PSID

*典型压降。联系方式布鲁克斯技术支持以获取更多信息。

最大压力
100 PSIA最大

泄漏完整性1x10-10大气压毫升/秒他
诊断和显示
诊断功能可用

状态指示灯
MFC健康

网络状态

警报
传感器输出，控制阀输出，超温，防浪涌电源/凹陷，网络中断，传感器漂移，流错误，阀门泄漏

诊断/服务端口
通过2.5毫米接口RS485

显示
顶部安装电子旋转的整合LCD

可视角度：固定

视距：10英尺

单位显示：流量（％），温度（℃），压力（PSIA，千帕）

分辨率：0.1（单位）

电动
模拟通信
0-5伏

数字通信
的DeviceNet?

RS485

电气连接
模拟/ RS485通过9针“D”连接器

的DeviceNet?通过5针“M12”连接器

电源/功耗
模拟/ RS485：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）

的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流电

（在典型的操作条件下）

合规
EMC
EC指令2004/108 / EC

CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE测试）

环境合规性
RoHS指令（2011/65/2006）

REACH指令EC 1907/2006

美国布鲁克斯Brooks Instruments作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。

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