美国布鲁克斯Brooks Instruments质量流量控制器5850EM产品规格

美国布鲁克斯Brooks Instruments质量流量控制器5850EM产品规格

产品型号质量流量控制器
微分
庞大的客户群与成熟的长期表现

性能
流量范围（满量程容量）0.06 SCCM - 30000 SCCM
准确性
1％F.S.含。线性度

1.5％F.S.含。线性度> 20 SLPM

重复性
率的0.2％的

线性度
±0.5％F.S. （包括精度）

响应时间
常闭阀：<3秒

可选：600毫秒

多气体和范围可配置
-

压力瞬变不敏感 -
控制范围
2-3％ - 100％

箱数
N / A

阀门关闭
N / A

零点稳定性<±0.5％F.S.每年
机械
密封材料金属
纯度水平/表面处理
316L VAR，316L，和高合金铁素体不锈钢

接液材料
阀座：316L，Viton®氟，丁腈橡胶，或的Kalrez®特氟隆

阀选
常闭，常开

计（无阀）

评级
很高温度65℃
差压量程
5 - 50磅（天然气和范围而定）

最大压力
1500 PSI

泄漏完整性1x10-10大气压毫升/秒他
诊断和显示
诊断功能 -

状态指示灯MFC健康，网络状态
警报
控制阀输出，网络中断

诊断/服务端口
N / A

 

电动
模拟通信
4-20毫安

0-5伏

数字通信
-

电气连接
15针D型接口（DA-15P）

电源/功耗
常闭阀：3.25瓦特

常开阀：10.5瓦特

合规
EMC
每61326（89/336 / EEC）

环境合规性
N / A
0.06 SCCM - 30000 SCCM

10 - 100 SLPM氮
表面光洁度
5镭内部完成（可选）

电解湿润表面（可选）

电解湿润表面（可选）

增强的过程（5镭平均）的内表面（可选）

高纯度VAR 316L不锈钢

准确性
1％F.S.包括线性度

1.5％F.S.包括线性度（> 20 SLPM）

1％F.S.包括线性度

重复性
0.25％利率

0.2％的速率

响应时间
常闭阀

<3秒

常闭阀

<3秒

多气体和范围可配置
N / A

N / A

压力瞬变不敏感
每psi氮0.008％

每psi到150 psig的0.03％

诊断能力
MFC健康，网络状态

MFC健康，网络状态

模拟通信
4-20毫安

0-5伏

4-20毫安

0-5伏

数字通信
N / A

 

现场总线

RS485 S-协议

RS485 L-协议

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