HEPHAIST定位平台NAF3C-10-01P

滑块部分采用 “预载双滑块 ”结构，中间板夹在上下两块板之间。 每块板之间放置了大量滚珠，可实现平滑的平面滚动运动。 三个执行器位于同一平面上，因此结构超薄、简单。 这有助于实现小型化和低重。

超薄、结构简单

高精度定位

高刚性

节省空间

任意设置旋转中点

超精度平台 HW 系列：进给机构采用 “滚珠丝杠+楔形减速机构”。 此外，直线运动导轨配备了 “交叉滚柱导轨”，从而实现了高跟踪、高精度和高刚性的超精度平台。

Z 倾斜平台：带有三个楔形 Z 轴模块的倾斜平台。平台放置在需要调整角度的物体底部，高度和水平度可通过每个推杆的垂直运动进行调整。工作台和推杆之间的连接采用本公司生产的球面轴承 (SRJ)。

Z 轴平台：高负荷、高刚性、高分辨率、省电的推杆，是在狭小空间内沿 Z 轴方向定位和校准重物的适配选择。

XYθ 平台（对中平台）：超薄平台，其电动执行器布置在同一平面内，使整个系统的重较低。

产地：日本

行程：XY ± 2 mm，θ ± 2°

工作台尺寸：100 x 100 mm

底座尺寸：120 x 120 mm

高度：35 mm

重复定位精度：±1 µm 以内

移动误差：3 µm 以内

静止时的负载能力(等分布垂直负载）：200 N

移动时的负载能力(垂直均布负载）：100 N

平行度：30 μm

步进电机型号：PK513PA

滚珠丝杠导程：1 mm

驱动器类型：步进：MC-S0514-3L

步进分辨率(默认设置）：0.2 μm/pulse

伺服分辨率(默认设置）：0.1 μm/pulse

光电微传感器：PM-L25

平台材料：铁-低温黑铬处理；铝-黑色阳极氧化处理

质量：2.2 kg

润滑剂：低尘润滑脂

平台高速运行 、悬挂在天花板上