产品介绍
Ichor Systems 生产全系列常规、模块化隔膜阀、模块化计量阀和止回阀，其性能和纯度均达到或超过所有行业标准。我们的常规隔膜阀 (CDV) 系列可为常规安装系统提供良好的可靠性和价值，而我们的模块化隔膜阀 (MDV) 系列则专为模块化表面安装系统而设计。我们所有阀门的设计均符合 SEMI 规范，具有高可靠性和性能，并与市场上所有竞争系统兼容。客户须确保所选部件是适合其防护性能的部件，同时考虑到气体/流体输送系统的材料兼容性、操作条件、正确安装等。
性能特点
模块化止回阀
1.125" C 型密封
3 端口，316L 不锈钢 SEMI F20 VIM/VAR
更高纯
选型指南
技术参数
| 产地 | 美国 |
| 工作压力 | 3000 psig |
| 部件类型 | 模块式止回阀 |
| 配置 | 中央 |
| 表面光洁度 | 5 ra |
| 工作温度 | -28 至 200 ℃（20 至 400 ℉） |
| 弹簧材料 | elgiloy |
| 底座尺寸 | 1.125" |
| 密封类型 | C-密封 |
| 端口数量 | 3-端口 |
| 阀体材料 | 316l SST semi f20 vim/var |
| 纯度等级 | 更高纯 |
| 清洗方式 | 电抛光和钝化 |
| 爆破压力 | 12000 psig |
| 密封材料 | Viton |
产品尺寸
产品应用
流体输送、半导体、制造业、集成解决方案
沪公网安备31011302006898号
